一种用于离线校准尼康S204光刻机激光器光轴的装置

摘要

本实用新型公开了一种用于离线校准尼康S204光刻机激光器光轴的装置，它涉及激光器校准技术领域。前定位块的右侧、后侧分别设置有侧边定位块、后定位块，前定位块、后定位块、侧边定位块的表面均设置有独立的承载平面台，前定位块的左侧由近至远依次放置有近点小孔标记、远点小孔标记；所述的前定位块与侧边定位块之间的距离为1mm，前定位块与后定位块之间的距离为316mm，侧边定位块与后定位块之间的距离为47mm，近点小孔标记与远点小孔标记之间的距离不小于4000mm。本实用新型根据三点一线的原理，将光刻机内部复杂的光路简化为一条直线，校准操作简便且耗时短，可直观地观察光线的变化，不占用生产设备的时间。