一种用于离线校准尼康i11光刻机激光器光轴的装置

摘要

本实用新型公开了一种用于离线校准尼康i11光刻机激光器光轴的装置，它涉及激光器校准技术领域。前定位块为激光器的前端定位挡板，放置在装置整体的前侧，前定位块的侧边放置有前侧边定位块，前侧边定位块的后部放置有后侧边定位块，前定位块、前侧边定位块、后侧边定位块的表面均设置有独立的承载平面台，前定位块与前侧边定位块的中部前方依次放置有近点小孔标记、远点小孔标记。本实用新型采用三个主支撑块组合而成的激光器光轴离线校准装置，将光刻机内部复杂的光路简化为一条直线，可直观地观察光线的变化，校准操作简便且耗时短，不占用生产设备的时间。