一种具有高承载能力的超高精度五维运动调节装置

摘要

本实用新型公开了一种具有高承载能力的超高精度五维运动调节装置，涉及精密调节技术领域。本实用新型包括基于X向的前后平移机构、基于Y向的左右平移机构、基于θZ向的旋转机构、基于θX向或θY向的摆动机构、基于Z向的升降机构、整体行走机构；第一高精度滚珠丝杆副作传动机构、第二高精度滚珠丝杆副作传动机构、第一高精度涡轮蜗杆机构、第二高精度涡轮蜗杆机构、坦克车分别经电脑发指令实现轴运动、定位、反馈的功能控制。本实用新型填补了大型负载机构超高精度运动调节装置的空白，相较于目前市面上的um量级高精度五维运动调节装置，本装置的负载能力远远胜出，微调精度达到um量级，可以胜任大型装置精密测量的承载和微调工作。