基于V型腔和环形腔的全固态准三能级228.5nm激光器

摘要

本实用新型公开了一种基于V型腔和环形腔结构的全固态准三能级228.5nm激光器，该激光器沿光路方向依次包括：泵浦源、第一耦合光学系统、V型腔以及环形腔；其中：所述V型腔包括：第一分臂、第二分臂以及第一分臂与第二分臂相交处的镜片M；所述第一分臂上设有激光晶体；所述第二分臂上依次设有镜片M2和LBO倍频晶体。该激光器利用V型腔对基频光进行腔内二倍频，提高了基频光的功率密度和倍频效率，同时利用环形腔对二倍频光进行腔内谐振四倍频，提高了二倍频光在倍频晶体内的功率密度和倍频效率，同时环形腔为行波腔，利于单频激光在腔内谐振提高了倍频效率，最终获得了高功率228.5nm深紫外激光。