一种蓝宝石晶体生长用坩埚固定及坩埚盖自支撑结构

摘要

本实用新型涉及一种蓝宝石晶体生长用坩埚固定及坩埚盖自支撑结构。该结构包括上隔热屏、坩埚盖、坩埚盖支撑杆、坩埚、坩埚固定杆、驱动电机、发热体、钨盘和钨柱。坩埚固定杆和坩埚盖支撑杆均为钨棒加工而成，设置在坩埚周围。该结构通过驱动电机控制坩埚固定杆能精确调节坩埚冷心位置，在晶体生长过程中能够固定坩埚位置，避免坩埚偏移。坩埚盖支撑杆在坩埚固定杆上方，起到支撑坩埚盖的作用。本实用新型结构能进一步提高热场稳定性，采用坩埚盖自支撑结构能够延长坩埚使用寿命，从而进一步提升产品良率、降低产品成本。