一种防粉尘产生的洁净装置及石墨舟

摘要

本实用新型公开了一种防粉尘产生的洁净装置及石墨舟，该防粉尘产生的洁净装置包括：电极片；硅片，其安装于电极片上；固定组件，其套设于电极片上且与电极片滑动连接；其中，所述电极片上分布有呈阵列分布的侧方锥面孔。本案的防粉尘产生的洁净装置增大电极片的表面粗糙度，增加沉积膜的附着力，减少石墨舟的维护频率，提高生产效率，增加生产成本。