公开/公告号CN211576999U
专利类型实用新型
公开/公告日2020-09-25
原文格式PDF
申请/专利权人 笪萨科技(上海)有限公司;
申请/专利号CN201921327430.9
发明设计人 孙平;
申请日2019-08-14
分类号G01N21/898(20060101);G01N21/13(20060101);B07C5/342(20060101);
代理机构31100 上海专利商标事务所有限公司;
代理人骆希聪
地址 200233 上海市徐汇区桂平路471号9号楼504室
入库时间 2022-08-22 16:54:50
机译: 图像连接和分析设备以及有机光电导体缺陷检测器
机译: 材料缺陷检测和分析设备
机译: 缺陷分析设备,基板处理系统,缺陷分析方法,存储在介质中的计算机程序和计算机可读存储介质