一种基于合作目标光栅的主轴径向回转误差测量装置

摘要

一种基于合作目标光栅的主轴径向回转误差测量装置，属于精密仪器制造及测量技术领域；在该装置中，光束整形器件固定在被测主轴的回转端面上，环形标尺光栅固定在光束整形器件上方，斜纹指示光栅位于环形标尺光栅上方，光电转换装置固定在斜纹指示光栅上方，电子信号处理部件位于光电转换部件上方，光源位于光束整形器件工作面的径向，准直扩束系统位于光源与光束整形器件之间；光束整形器件与被测主轴轴线重合，环形标尺光栅与光束整形器件轴线重合，斜纹指示光栅与环形标尺光栅轴线重合，光电转换部件与斜纹指示光栅轴线重合；通过将合作目标光栅与光电转换器件组合，大大减少了装置制作成本，提高测量精度。