一种近垂直入射的双点光斑光学系统

摘要

本实用新型揭示了一种近垂直入射的双点光斑光学系统，其包括沿光轴同轴设置的准直镜、负角棱镜、柱面镜以及聚焦镜，单光束经过所述准直镜处理形成准直平行光束，然后经过所述负角棱镜分成两束向外扩张的双光束，再经过所述柱面镜改变双光束形成的光斑形状，再经过所述聚焦镜将双光束近垂直的聚焦到靶平面上形成设定形状大小的两个光斑。本实用新型能够有效的将激光光束分为两束独立而且近垂直于工件表面的入射光，且能在工件表面形成的双点光斑可根据需求灵活调节其大小、形状。