对废微蚀刻液进行电积铜的装置

摘要

一种可降低电极浓差极化现象且能提高铜回收率的对废微蚀刻液进行电积铜的装置。盛放废液的容器为两个独立且并列连接在一起的电解A缸和电解B缸，A缸与B缸由中间隔板分开，在该中间隔板的顶端设有可使A缸中的废液流入B缸内的溢流窗孔；在A缸内与溢流窗孔相对侧的下方设有送药管，在B缸内与溢流窗孔相对侧的下方设有出药管，送药管的进口与出药管的出口通过外置的循环装置连通；在电解过程中，废液在A缸、B缸和循环装置之间流动；A缸中的废液由下向上流动；B缸中的废液由上向下流动。采用双缸循环式的电解槽对废微蚀刻液进行电积铜的处理，其具有电积铜效率高、占地面积小、自动化程度高、材料成本低以及液位可调幅度大等特点。