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用于在花键轴上形成类金刚石碳膜的方法以及热阴极潘宁电离计型等离子化学气相沉积装置

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多个花键轴(10)绕柱状等离子体(70a)布置，并且多个花键轴(10)在真空室(60)内沿柱状等离子体(70a)延伸的方向同轴地对准。多个同轴地对准的花键轴(10)定位为在相应的阳花键部(16)之间形成轴向间隙。多个阳花键部(16)的轴向间隙定位在柱状等离子体(70a)的沿柱状等离子体(70a)延伸的方向的中心处。

著录项

公开/公告号CN102953044B

专利类型发明专利
公开/公告日2016-06-29

原文格式PDF
申请/专利权人株式会社捷太格特;株式会社CNK;
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申请/专利号CN201210305330.2
发明设计人安藤淳二;铃木知朗;小川友树;岩井昭宪;吉村信义;桥富弘幸;
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申请日2012-08-24
分类号
代理机构北京集佳知识产权代理有限公司;
代理人田军锋
地址日本大阪府大阪市
入库时间 2022-08-23 09:42:38

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2016-06-29

授权

授权
2014-09-10

实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/27 申请日:20120824

实质审查的生效
2013-03-06

公开

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