一种用于纯化气体制备超纯气体的纯化装置

摘要

本实用新型属于气体纯化领域，公开了一种用于纯化气体制备超纯气体的纯化装置。包括原料气入口监测组，吸附组，外接再生气体入口监测组，产品再生气阀门仪表组，产品出气组，排液组，废气排放口；本实用新型装置深度脱除气体中的微量杂质氧、水、二氧化碳、一氧化碳、氢气和甲烷杂质或其中某种或多种杂质。