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为进一步处理保护硫化镉的器件及方法

摘要

本发明名称为“为进一步处理保护硫化镉的器件及方法”。一般地提供了用于保护衬底12上硫化镉层18的方法。在一个具体实施例中,该方法能包括:在10mTorr到约150mTorr的溅射压力,从硫化镉靶将硫化镉层18溅射到衬底上,并在硫化镉层上直接溅射盖层19。盖层19能在10mTorr到约150mTorr的溅射压力从硫化镉靶直接溅射到硫化镉层18上,而不破坏溅射压力。还一般地提供了用于制造基于碲化镉的薄膜光伏器件10的方法。

著录项

  • 公开/公告号CN102237448B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2016-06-29

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 初星太阳能公司;

    申请/专利号CN201110156160.1

  • 发明设计人 J·A·德雷顿;R·E·德马雷;

    申请日2011-04-29

  • 分类号

  • 代理机构中国专利代理(香港)有限公司;

  • 代理人柯广华

  • 地址 美国科罗拉多州

  • 入库时间 2022-08-23 09:42:37

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2018-05-18

    未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 31/18 授权公告日:20160629 终止日期:20170429 申请日:20110429

    专利权的终止

  • 2016-06-29

    授权

    授权

  • 2016-06-29

    授权

    授权

  • 2013-04-03

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 31/18 申请日:20110429

    实质审查的生效

  • 2013-04-03

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 31/18 申请日:20110429

    实质审查的生效

  • 2011-11-09

    公开

    公开

  • 2011-11-09

    公开

    公开

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