公开/公告号CN210156345U
专利类型实用新型
公开/公告日2020-03-17
原文格式PDF
申请/专利权人 应用材料公司;
申请/专利号CN201790001227.5
申请日2017-07-25
分类号
代理机构北京律诚同业知识产权代理有限公司;
代理人徐金国
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2022-08-22 12:50:00
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-03-17
授权
授权
机译: 用于处理气流中的物质(优选用于吸收或过滤气体)的设备包括第一外部腔室,第二内部腔室以及位于第一腔室和第二腔室之间的环形处理腔室
机译: 用于连接两个处理腔室的定位板水平安装在两个处理腔室之间的一个边缘上,并具有中心槽,允许工件从一个处理腔室通过到另一个腔室
机译: 用于涂覆玻璃部件的真空处理单元具有至少两个相邻的腔室或腔室区域,所述至少两个相邻的腔室或腔室区域通过具有通过阀装置的开口的壁彼此分开