公开/公告号CN1202559C
专利类型发明授权
公开/公告日2005-05-18
原文格式PDF
申请/专利权人 联华电子股份有限公司;
申请/专利号CN03100083.5
发明设计人 陈子清;
申请日2003-01-07
分类号H01L21/027;H01L21/66;H01L21/82;G03F7/00;
代理机构11127 北京三友知识产权代理有限公司;
代理人陈红
地址 台湾省新竹市
入库时间 2022-08-23 08:57:43
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2005-05-18
授权
授权
2003-12-17
实质审查的生效
实质审查的生效
2003-10-01
公开
公开
机译: 用于测量多层重叠对准精度的重叠游标图案及其测量方法
机译: 用于测量多层重叠对准精度的重叠游标图案及其测量方法
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