公开/公告号CN209880549U
专利类型实用新型
公开/公告日2019-12-31
原文格式PDF
申请/专利权人 政汉电子科技有限公司;
申请/专利号CN201920404333.9
发明设计人 蔡汉平;
申请日2019-03-28
分类号
代理机构上海翼胜专利商标事务所(普通合伙);
代理人翟羽
地址 中国台湾新竹市北区南寮里4邻中清一路22之7号1楼
入库时间 2022-08-22 12:01:54
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-12-31
授权
授权
机译: 平板基板的湿法清洗或蚀刻方法及装置
机译: 平板基板的湿法清洗或蚀刻方法及装置
机译: 具有垂直装载式抽出结构的湿法蚀刻装置旋转锯齿