基于表面等离激元效应的亚波长尺度矩形波导

摘要

本实用新型公开了一种基于表面等离激元效应的亚波长尺度矩形波导，以半导体作为基底，波导部分由三部分组成，由外向内依次为金属层、绝缘体层、半导体层；半导体层纵向分为三层，中间一层为波导核心层，其余两层为核心层包层，此三层的宽度一致；其中，波导核心层的半导体材料折射率高于核心层包层。本实用新型结构相对简单，宽度小于所传输光信号的衍射极限，为在大规模光子集成回路中实现超高集成度提供了可能。