基于脉冲调制射频的大气压低功耗室温等离子体射流装置

摘要

本实用新型公开了一种基于脉冲调制射频的大气压低功耗室温等离子体射流装置，该装置包括工作电源、脉冲信号发生器、射频电源、射频匹配器、储气瓶和等离子发生器，所述工作电源和脉冲信号发生器分别与射频电源连接，所述射频电源的输出端与射频匹配器连接，所述射频匹配器与插装在等离子发生器中的针电极连接，所述等离子发生器的进气口端与储气瓶连接，所述等离子发生器的射流出口端套装有接地电极。本实用新型解决了现有大气压等离子体射流装置存在的造价高、功耗大和温度高问题。