公开/公告号CN208969425U
专利类型实用新型
公开/公告日2019-06-11
原文格式PDF
申请/专利权人 东莞市友辉光电科技有限公司;
申请/专利号CN201821426172.5
发明设计人 余燕青;
申请日2018-09-02
分类号
代理机构东莞市创益专利事务所;
代理人许彬
地址 523000 广东省东莞市万江区拔蛟窝社区创业路工业区
入库时间 2022-08-22 09:27:45
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-06-11
授权
授权
机译: 带有曝光功能的光学模块,具有使用LED光源的聚光功能
机译: 用于极端UV投射曝光系统的光谱滤光片的控制装置,具有聚光镜,该聚光镜将光源的光转换成监测光束,以调节滤光片的透射光和/或反射光,以供检测器使用
机译: 使用透明硅聚光镜的led点光源装置