太阳能电池的减反射膜生产设备、减反射膜及太阳能电池

摘要

本实用新型涉及一种太阳能电池的减反射膜生产设备。该太阳能电池的减反射膜的生产设备包括：第一镀膜腔，用于在待镀膜硅片的表面镀制折射率为2.3～2.6的第一氮化硅层；第二镀膜腔，与第一镀膜腔连接，且用于在第一氮化硅层的表面镀制折射率为2.1～2.3的第二氮化硅层；第三镀膜腔，与第二镀膜腔连接，且用于在第二氮化硅层的表面镀制折射率为2.0～2.1的第三氮化硅层；与第一镀膜腔连通的第一气体混合器、与第二镀膜腔连通的第二气体混合器及与第三镀膜腔连通的第三气体混合器，以分别向第一镀膜腔、第二镀膜腔及第三镀膜腔通入混合均匀的气体。上述减反射膜生产设备能够制备具有较低色差的减反射膜。