具有显示监测功能的气体温度调节装置

摘要

一种具有显示监测功能的气体温度调节装置，包含有：一机壳，其外侧设有一输入口及一输出口；一散热模块，设于所述机壳内；一致冷模块，组接于所述散热模块；一降温结构，组设所述致冷模块，并具有至少一流道，所述流道分别连通所述输入口及所述输出口；一运算处理模块，电性连接所述散热模块及所述致冷模块；一侦测模块，电性连接所述运算处理模块及所述致冷模块，并用以对所述流道内的流量及温度进行感测；及一显示设置模块，组设于机壳的外侧，并电性连接运算处理模块及侦测模块；以此，本实用新型通过显示监测机制，以供半导体制程中或系统测试中让工作人员可以降低设定或保养时的人为疏失，以及快速辨别出异常问题点，并尽早排除异常情况。