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一种可延长清理周期的喷淋板

摘要

本实用新型公开了一种可延长清理周期的喷淋板:喷淋板设内部气体分布管;所述的内部气体分布管均设有喷淋孔组,所述每一个喷淋孔组由若干个与反应腔连通的喷淋孔组成,反应气体从喷淋孔喷出进入反应腔;所述喷淋板表面、内部气体分布管的管壁、喷淋孔的孔壁上均涂覆特氟龙涂层。

著录项

  • 公开/公告号CN208501096U

    专利类型实用新型

  • 公开/公告日2019-02-15

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 江苏微导纳米装备科技有限公司;

    申请/专利号CN201820544786.7

  • 发明设计人 姚良;

    申请日2018-04-17

  • 分类号C23C16/455(20060101);

  • 代理机构32207 南京知识律师事务所;

  • 代理人朱少华

  • 地址 214028 江苏省无锡市新区行创四路7号

  • 入库时间 2022-08-22 08:10:20

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2020-04-14

    专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):C23C16/455 变更前: 变更后: 申请日:20180417

    专利权人的姓名或者名称、地址的变更

  • 2019-02-15

    授权

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