公开/公告号CN206854849U
专利类型实用新型
公开/公告日2018-01-09
原文格式PDF
申请/专利权人 北京沃佳玛科技有限公司;
申请/专利号CN201720798134.1
申请日2017-07-03
分类号
代理机构北京创遇知识产权代理有限公司;
代理人李芙蓉
地址 102600 北京市大兴区经济开发区金辅路甲2号凯驰大厦B211室
入库时间 2022-08-22 03:35:35
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-01-09
授权
授权
机译: 激光式打码机套准辅助结构
机译: 极紫外光源装置,用于极紫外光源装置的激光光源装置以及调整用于极紫外光源装置的激光光源装置的方法
机译: 极紫外光源装置,用于极紫外光源装置的激光光源装置以及用于极紫外光源装置的激光光源的调整方法