气体流量标准装置真空气源极限压力控制系统

摘要

本实用新型气体流量标准装置真空气源极限压力控制系统，具有气环真空泵组合、空气输气连接管路、缓冲容器、气动流量调节阀、压力变送器以及气动开关阀，其中，气环真空泵组合为气源发生设备，包括1台或多台气环真空泵，各气环真空泵的进气口通过空气输气连接管路与缓冲容器连接，各气环真空泵的出气口通过空气输气连接管路接至排放管路；气动开关阀、压力变送器以及气动流量调节阀设于气环真空泵组合的进气汇管侧。本实用新型提高了装置检测时系统的真空控制能力，并降低了喷嘴的临界背压比(相比于不用此方式控制条件下)，提高了装置的适用性及检测结果的可靠性，同时提高了装置检定结果的科学性、有效性和可靠性，结构简单，加工工艺简洁，便于维护，拆装方便快捷。