狭缝式涂布装置及该装置用基板异物检测用异物感测装置

摘要

本实用新型公开一种狭缝式涂布装置及该装置用基板异物检测用异物感测装置。本实用新型的异物感测装置可以被安装到狭缝式涂布装置，有效地感测贴附于基板的上部或下部表面的异物，从而防止狭缝式喷嘴肋部由于碰撞而被破损或受损。为此，异物感测装置具备：传感器板，从狭缝式喷嘴隔离而与狭缝式喷嘴平行地布置于涂布进行方向的前侧；传感器，配备于传感器板上，根据涂布的进行而感测与位于基板的上部或下部的异物的碰撞。作为传感器，例如，优选地使用用于感测发生在传感器板的应力的应变仪等。