公开/公告号CN205280840U
专利类型实用新型
公开/公告日2016-06-01
原文格式PDF
申请/专利权人 苏州长风航空电子有限公司;
申请/专利号CN201521067308.4
申请日2015-12-21
分类号
代理机构
代理人
地址 215129 江苏省苏州市高新区建林路379号
入库时间 2022-08-22 01:24:24
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-06-01
授权
授权
机译: 悬臂阵列,其制造方法,扫描探针显微镜,导向和旋转机构的滑动装置,传感器,具有光学激发功能的,用于激发样本的零差激光干涉仪,激光多普勒干涉仪,以及用于激发悬臂的方法
机译: 悬臂阵列,其制造方法,扫描探针显微镜,导向和旋转机构的滑动装置,传感器,具有光学激发功能的,用于激发样本的零差激光干涉仪,激光多普勒干涉仪,以及用于激发悬臂的方法
机译: 悬臂阵列,其制造方法,扫描探针显微镜,导向和旋转机构的滑动装置,传感器,具有光学激发功能的,用于激发样本的零差激光干涉仪,激光多普勒干涉仪,以及用于激发悬臂的方法