应用干涉仪检测待测物表面阶差的装置

摘要

一种应用干涉仪检测待测物表面阶差的装置，用于检测一待测物表面的平坦程度，其包含：一白光干涉仪，经由投射白光建立该待测物的一照射区域表面不同点的相对位阶(即距该白光干涉仪的距离)，由不同点的相对位阶的阶差可以形成该照射区域表面的三维图谱；该照射区域内的所有位阶信号形成一位阶信号组；一控制机构连接该白光干涉仪，用于控制该白光干涉仪移动到该待测物的各照射区域进行照射白光的作业；一阶差影像处理器连接该白光干涉仪，接收该白光干涉仪所建立的各该照射区域的位阶信号组，而计算出各该照射区域的平坦度资讯，并判断该待测物的平坦度是否符合承载物件时的需求；再结合各该照射区域的平坦度资讯而建立该待测物的表面高度图形。