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公开/公告号CN204269324U
专利类型实用新型
公开/公告日2015-04-15
原文格式PDF
申请/专利权人 浙江中烟工业有限责任公司;
申请/专利号CN201420824055.X
发明设计人 林建南;洪梨梨;李晓茵;倪建彬;游金清;陆成飞;李茂松;
申请日2014-12-22
分类号
代理机构杭州丰禾专利事务所有限公司;
代理人王从友
地址 310008 浙江省杭州市建国南路288号
入库时间 2022-08-22 00:33:30
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-04-15
授权
机译: 气体例如氩气,一种用于硅晶片加工/转移设备的真空室的泄漏检测方法,涉及产生气体等离子体并检测在等离子体发射的辐射光谱中测试气体的光谱线的存在
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