法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-02-05
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):B01F7/18 授权公告日:20140702 终止日期:20180217 申请日:20140217
专利权的终止
2014-07-02
授权
授权
机译: 用于从清洁介质中保持和保护具有光罩的光罩或光罩或光罩的一侧的保持器,用于清洁光罩或光罩的方法以及用于打开和关闭容器的装置
机译: 制造光罩的方法,光罩形状形状评估装置,判定光罩缺陷的校正部分,光罩缺陷校正的部分的判定装置以及半导体装置的制造方法
机译: 用于用光罩容纳光罩或光罩的一侧并防止清洁介质的保持器,用光罩清洁光罩或光罩的方法以及用于打开和关闭该保持器的装置