一种等离子体约束环组件及其上部环、吊架组件、下部环和中部环

摘要

本申请涉及一种等离子体约束环组件及其上部环、吊架组件、下部环和中部环，其中一种具有单个能移动的下部环的等离子体约束环组件，其可用于控制电容耦合等离子体反应室中的晶片区域压强，晶片被支承在下电极组件上且处理气体通过上部喷头电极组件被引入所述室。该组件包括上部环、下部环、吊架、吊架帽、间隔套筒和垫片。当在上电极和下电极之间的间隙调节过程中所述垫片与所述下电极组件进行接触时，所述下部环由所述吊架支撑并朝着所述上部环能移动。所述吊架帽啮合所述吊架的上端并配合入所述上部环中的吊架孔的上部。间隔套筒围绕所述吊架的下部并配合入所述吊架孔的下部。垫片配合在所述吊架的扩大的头部和所述下部环的下表面之间。间隔套筒的尺寸设为在抬高所述下部环的过程中避免摩擦所述吊架孔的所述内表面。