公开/公告号CN203304602U
专利类型实用新型
公开/公告日2013-11-27
原文格式PDF
申请/专利权人 大连创新零部件制造公司;
申请/专利号CN201320331856.8
发明设计人 宋渊;
申请日2013-06-09
分类号
代理机构大连科技专利代理有限责任公司;
代理人龙锋
地址 116620 辽宁省大连市开发区48号地创新零部件工业园
入库时间 2022-08-21 23:57:35
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2013-11-27
授权
授权
机译: 圆盘形框架上带有夹具的掩模支架,用于离子光刻中的半导体晶圆曝光
机译: 圆盘形零件圆槽加工机
机译: 加工零件外圆表面的方法和执行相同零件的装置