一种用于石墨烯化学气相沉积设备的杂质气体吸附装置

摘要

本实用新型公开一种用于石墨烯化学气相沉积设备的杂质气体吸附装置，包括一气流通道，该通道一端为石墨烯化学气相沉积中的混合气体入口，在气流通道外侧装有若干组半导体致冷片，各致冷片通电联接形成电学低温气流冷阱并吸附杂质气体，气流通道另一端为纯化气体出口。本实用新型采用半导体致冷器件，通过低温吸附的方法，除去混合气源中的杂质气体，结构简单，使用方便，易于维护。