电阻体材料、电阻薄膜形成用溅射靶、电阻薄膜、薄膜电阻器以及它们的制造方法

摘要

本发明的目的是提供一种即使经过相对低温的热处理也电阻率、电阻温度特性、高温稳定性、耐盐水性均优良的薄膜电阻器和用于制造所述薄膜电阻器的电阻体材料以及制造方法。本发明提供了一种电阻体材料，该电阻体材料是在Ni合金中添加有3～20质量％的硅酸盐系玻璃，其中，该Ni合金含有10～60质量％的选自Cr、Al和Y中的1种以上的添加元素，并且余量是Ni和不能避免的杂质，该硅酸盐系玻璃以SiO