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一种用于电子束蒸发镀膜的新结构蒸发材料

摘要

本实用新型涉及一种用于电子束蒸发镀膜的新结构蒸发材料。在块状蒸发材料直接被电子束加热的端面加工一个具有一定尺寸和形状的凹槽,在使用时,将片状或者颗粒状同材质蒸发料放入凹槽内一起熔融蒸发,可以有效较少和避免传统锥台蒸发料在蒸发起始时发生的熔体飞溅,和蒸发过程中的熔体外溢。该实用新型可以应用于目前常用的所有材质的蒸发材料,有利于提高蒸发镀膜质量。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2013-09-18

    专利权的转移 IPC(主分类):C23C14/30 变更前: 变更后: 登记生效日:20130826 申请日:20120315

    专利申请权、专利权的转移

  • 2012-11-14

    授权

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