公开/公告号CN202530153U
专利类型实用新型
公开/公告日2012-11-14
原文格式PDF
申请/专利权人 北京有色金属研究总院;有研亿金新材料股份有限公司;
申请/专利号CN201220098888.3
申请日2012-03-15
分类号C23C14/30(20060101);C23C14/06(20060101);C23C14/14(20060101);
代理机构11246 北京众合诚成知识产权代理有限公司;
代理人陈波
地址 100088 北京市西城区新街口外大街2号
入库时间 2022-08-21 23:36:39
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2013-09-18
专利权的转移 IPC(主分类):C23C14/30 变更前: 变更后: 登记生效日:20130826 申请日:20120315
专利申请权、专利权的转移
2012-11-14
授权
授权
机译: 在用于涂覆基板的蒸发室中对电介质材料进行电子束蒸发,包括在敞口坩埚中使用电子束蒸发沉积在蒸发井中的电介质材料,以形成蒸汽源
机译: 用于真空镀膜设备的电子束蒸发器
机译: 电子束蒸发器,用于真空镀膜设备。