首页> 中国专利> 一种应用于真空涂层领域的新型工件架

一种应用于真空涂层领域的新型工件架

摘要

本实用新型公开了一种应用于真空涂层领域的新型工件架,包括工件架大盘(5)、工件架小盘(6)、工件套管(8)和拨叉(7),其特征在于,工件架大盘(5)上安装有多个工件架小盘(6),工件架小盘(6)上安装有多个工件套管(8),每个工件架小盘(6)相应安装有一个或者多个拨叉(7),每个拨叉提供一个或者多个触点。本实用新型提供的工件架采用多个拨叉或者多触点拨叉,可以有效地提高工件上沉积涂层的均匀度。

著录项

  • 公开/公告号CN202139292U

    专利类型实用新型

  • 公开/公告日2012-02-08

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 无锡启恒科技有限公司;

    申请/专利号CN201120223819.6

  • 发明设计人 徐健;邓朝阳;张云龙;

    申请日2011-06-29

  • 分类号

  • 代理机构

  • 代理人

  • 地址 214028 江苏省无锡市无锡新区硕放工业园201号

  • 入库时间 2022-08-21 23:26:44

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2015-09-02

    未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C14/40 授权公告日:20120208 终止日期:20140629 申请日:20110629

    专利权的终止

  • 2014-10-15

    文件的公告送达 IPC(主分类):C23C14/40 收件人:无锡启恒科技有限公司 文件名称:缴费通知书 申请日:20110629

    文件的公告送达

  • 2012-02-08

    授权

    授权

相似文献

  • 专利
  • 中文文献
  • 外文文献
获取专利

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号