公开/公告号CN2567781Y
专利类型
公开/公告日2003-08-20
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院物理研究所;
申请/专利号CN02244310.X
申请日2002-08-07
分类号H01L27/12;H01L21/84;
代理机构北京律诚同业知识产权代理有限公司;
代理人王凤华
地址 100080 北京市海淀区中关村南三街8号
入库时间 2022-08-21 22:45:00
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2005-12-21
其他有关事项避免重复授权放弃专利权 放弃生效日:20051123 申请日:20020807
其他有关事项避免重复授权放弃专利权
2003-08-20
授权
授权
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