离子源脉冲束流调制器

摘要

本实用新型涉及一种离子源脉冲束流调制器,在平行离子束方向的离子束上加有电极板,电极板与调制器相连;所述的调制器包括脉冲发生器、上升沿成形器、上升沿驱动器、下降沿延迟成形器、下降沿驱动器,由上升沿驱动器和下降沿驱动器分别产生的高压充电信号和放电信号加在电极板上;本实用新型是利用上升沿和下降沿驱动器来输出一个完整的方波脉冲信号,且很好地控制上升沿和下降沿的上升和下降时间,从而可在毫微秒级内使容性负载进行高压充、放电,从而产生脉冲化的离子源束流,且其周期、脉宽可调。