一种双环变迹镜及其制备方法和其测量等晕角的方法

摘要

本发明公开了一种双环变迹镜及其制备方法和其测量等晕角的方法，由同心的、交替排列的不透光圆环和透光圆环组成，从内到外透光圆环依次为内环和外环，其中内环最小半径为37.50mm，最大半径为50.00mm；外环最小半径为70.00mm，最大半径为101.60mm。本发明提供的双环变迹镜相对于单孔径变迹镜，能够在所有高度很好的模拟孔径滤波函数W(z)≡cz^5/3，所得等晕角相对误差明显较小，可以实现对等晕角的高精度测量。