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压电振动片、压电振子、压电振动片的制造方法、及压电振子的制造方法

摘要

本发明提供一种压电振动片、使用该压电振动片的压电振子、压电振动片的制造方法、及压电振子的制造方法。在压电振动片上,形成有至少一对激励电极,为了使所述一对激励电极与外部电极之间实现机电连接,而形成有从所述一对激励电极分别引出的至少一对引出电极。所述一对引出电极各自的前端部,具有被引出到所述压电振动片的一主面的一端部附近的连接电极。所述各个连接电极的顶面上,形成有与外部电极接合的第1金属膜。所述第1金属膜为,在其表面有两个以上的凸部,与所述各个连接电极相比,表面粗糙度更粗、面积更小,所述凸部的截面形状被形成为弯曲状。

著录项

  • 公开/公告号CN103430450B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2016-03-02

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 株式会社大真空;

    申请/专利号CN201280003686.9

  • 发明设计人 森本贤周;阪本和靖;

    申请日2012-02-24

  • 分类号

  • 代理机构北京三友知识产权代理有限公司;

  • 代理人李辉

  • 地址 日本兵库县

  • 入库时间 2022-08-23 09:35:24

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2016-03-02

    授权

    授权

  • 2013-12-25

    实质审查的生效 IPC(主分类):H03H9/19 申请日:20120224

    实质审查的生效

  • 2013-12-04

    公开

    公开

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