法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-01-27
授权
授权
2013-02-13
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F7/038 申请日:20110224
实质审查的生效
2012-12-26
公开
公开
机译: 图案形成方法,用于该方法的正型抗蚀剂组合物的图案形成多重显影,用于图案形成方法的用于显影液的负显影剂以及用于图案形成方法的负显影冲洗液
机译: 图案形成方法,用于该方法的正型抗蚀剂组合物的图案形成多重显影,用于图案形成方法的用于显影液的负显影剂以及用于图案形成方法的负显影冲洗液
机译: 图案形成方法,用于该方法的正型抗蚀剂组合物的图案形成多重显影,用于图案形成方法的用于显影液的负显影剂以及用于图案形成方法的负显影冲洗液