透射率测定装置、光掩模的透射率检查装置、透射率检查方法

摘要

本发明提供一种透射率测定装置、光掩模的透射率检查装置、透射率检查方法、光掩模制造方法、图案转印方法、光掩模产品，该透射率测定装置能够正确测定细微图案(例如形成于透明基板上的细微的半透光膜图案)的膜透射率。作为解决手段，在测定形成于透明基板上的半透光膜的细微图案等的膜透射率时，将测定波长的光会聚成最小点径(光束腰)并使其透射过作为测定对象物的半透光膜，然后将该透射光全部取入积分球，通过光检测器进行检测。