公开/公告号CN103185856B
专利类型发明专利
公开/公告日2016-01-06
原文格式PDF
申请/专利权人 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;
申请/专利号CN201110459688.6
申请日2011-12-31
分类号
代理机构北京集佳知识产权代理有限公司;
代理人骆苏华
地址 201203 上海市浦东新区张江路18号
入库时间 2022-08-23 09:33:08
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-01-06
授权
授权
2013-07-31
实质审查的生效 IPC(主分类):G01R31/28 申请日:20111231
实质审查的生效
2013-07-03
公开
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