适用于磁共振能量耦合的柔性多接收集成立体MEMS谐振子

摘要

本发明涉及一种适用于磁共振能量耦合的柔性多接收集成立体MEMS谐振子，采用MEMS平面工艺，在柔性聚合物材料衬底上制备多个谐振线圈，形成了金属导线以斜线并排顺次盘绕的形式构成的多个电感，经组装形成三维立体谐振子；各电感具有完全相同的几何尺寸与制备工艺，因此谐振频率一致。由于本发明具备优良的柔性，形状易于变化的特点，因此可以组装成任意形状缠绕在微型医疗仪器的外壳上，有效的节约了植入式器件的体积。本发明所设计的线圈可利用电镀软磁磁性材料的方法集成设计同轴磁芯，进一步提高能量传输的效率。本发明由于采用斜线交叉的结构，在卷曲组装方向不受力，有效防止电感金属线断裂，可靠性更高。