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具有聚焦能力的非周期性光栅反射镜及其制作方法

摘要

本发明的方面涉及可被配置为作为镜和其它光学装置工作的平面亚波长介质光栅。在一个方面,光栅层(102)具有平面几何形状且被配置有线条(206、207)。线条宽度、线条厚度以及线条周期间隔(208)被选择以控制从光栅反射的光束的不同部分的相变,使得相变共同产生从光栅反射的光束的期望波前形状。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2017-09-01

    未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G02B5/18 授权公告日:20150902 终止日期:20160717 申请日:20090717

    专利权的终止

  • 2016-11-02

    专利权的转移 IPC(主分类):G02B5/18 登记生效日:20161011 变更前: 变更后: 申请日:20090717

    专利申请权、专利权的转移

  • 2015-09-02

    授权

    授权

  • 2012-11-07

    实质审查的生效 IPC(主分类):G02B5/18 申请日:20090717

    实质审查的生效

  • 2012-09-12

    公开

    公开

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