公开/公告号CN103412467B
专利类型发明专利
公开/公告日2015-07-01
原文格式PDF
申请/专利权人 中山新诺科技有限公司;
申请/专利号CN201310349453.0
发明设计人 徐珍华;
申请日2013-08-12
分类号G03F7/20(20060101);
代理机构44211 中山市科创专利代理有限公司;
代理人钟作亮
地址 528400 广东省中山市火炬开发区明珠路3号之一
入库时间 2022-08-23 09:27:22
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-05-29
专利权质押合同登记的生效 IPC(主分类):G03F7/20 登记号:Y2020440000107 登记生效日:20200507 出质人:中山新诺科技股份有限公司 质权人:东莞银行股份有限公司中山分行 发明名称:沿扫描方向进行均匀性补偿装置及利用该装置进行均匀性补偿方法 授权公告日:20150701 申请日:20130812
专利权质押合同登记的生效、变更及注销
2019-09-03
专利权质押合同登记的注销 IPC(主分类):G03F7/20 授权公告日:20150701 登记号:2018440000056 出质人:中山新诺科技股份有限公司 质权人:上海浦东发展银行股份有限公司中山分行 解除日:20190812 申请日:20130812
专利权质押合同登记的生效、变更及注销
2019-09-03
专利权质押合同登记的注销 IPC(主分类):G03F 7/20 授权公告日:20150701 登记号:2018440000056 出质人:中山新诺科技股份有限公司 质权人:上海浦东发展银行股份有限公司中山分行 解除日:20190812 申请日:20130812
专利权质押合同登记的生效、变更及注销
2018-04-10
专利权质押合同登记的生效 IPC(主分类):G03F7/20 登记号:2018440000056 登记生效日:20180316 出质人:中山新诺科技股份有限公司 质权人:上海浦东发展银行股份有限公司中山分行 发明名称:沿扫描方向进行均匀性补偿装置及利用该装置进行均匀性补偿方法 授权公告日:20150701 申请日:20130812
专利权质押合同登记的生效、变更及注销
2018-04-10
专利权质押合同登记的生效 IPC(主分类):G03F7/20 登记号:2018440000056 登记生效日:20180316 出质人:中山新诺科技股份有限公司 质权人:上海浦东发展银行股份有限公司中山分行 发明名称:沿扫描方向进行均匀性补偿装置及利用该装置进行均匀性补偿方法 授权公告日:20150701 申请日:20130812
专利权质押合同登记的生效、变更及注销
2018-04-10
专利权质押合同登记的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 登记号:2018440000056 登记生效日:20180316 出质人:中山新诺科技股份有限公司 质权人:上海浦东发展银行股份有限公司中山分行 发明名称:沿扫描方向进行均匀性补偿装置及利用该装置进行均匀性补偿方法 授权公告日:20150701 申请日:20130812
专利权质押合同登记的生效、变更及注销
2016-05-11
专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):G03F7/20 变更前: 变更后: 申请日:20130812
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
2016-05-11
专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):G03F7/20 变更前: 变更后: 申请日:20130812
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
2016-05-11
专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):G03F 7/20 变更前: 变更后: 申请日:20130812
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
2016-05-11
专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):G03F 7/20 变更前: 变更后: 申请日:20130812
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
2015-07-01
授权
授权
2015-07-01
授权
授权
2015-07-01
授权
授权
2015-07-01
授权
授权
2013-12-18
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F7/20 申请日:20130812
实质审查的生效
2013-12-18
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F7/20 申请日:20130812
实质审查的生效
2013-12-18
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20130812
实质审查的生效
2013-12-18
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20130812
实质审查的生效
2013-11-27
公开
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2013-11-27
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2013-11-27
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2013-11-27
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机译： 非均匀性补偿系统，非均匀性补偿装置及面板驱动电路
机译： 使用多个固定晶圆方向和可变扫描速度进行均匀性控制
机译： 使用多个固定晶圆方向和可变扫描速度进行均匀性控制
