法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-05-18
专利实施许可合同备案的生效 IPC(主分类):G01L 1/14 合同备案号:2018610000015 让与人:西北工业大学 受让人:西安赛锐特机电测控科技有限公司 发明名称:基于硅通孔技术的微型电容式壁面剪应力传感器制作方法 申请公布日:20130522 授权公告日:20150708 许可种类:普通许可 备案日期:20180424 申请日:20130121
专利实施许可合同备案的生效、变更及注销
2015-07-08
授权
授权
2015-07-08
授权
授权
2013-06-19
实质审查的生效 IPC(主分类):G01L 1/14 申请日:20130121
实质审查的生效
2013-06-19
实质审查的生效 IPC(主分类):G01L 1/14 申请日:20130121
实质审查的生效
2013-05-22
公开
公开
2013-05-22
公开
公开
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机译: 具有垂直差分感测的集成全硅电容式微型陀螺仪和控制方法以及用于制备具有垂直差分感测的集成全硅电容式微型陀螺仪的过程
机译: 光纤壁面剪应力传感器
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