一种用于薄膜太阳能电池的碳基光子晶体背反射器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种用于薄膜太阳能电池的碳基光子晶体背反射器，由两种结构不同的光子晶体叠加构成，其结构为[A/B]_m A E[C/D]_n C，其中A、B、C、D、E的厚度分别为d₁=50nm，d₂=100nm，d₃=70nm，d₄=140nm，d₅=120nm，m、n为两种光子晶体的周期数，m取3，n取4。其制备方法是：RF-PECVD法在普通载玻片上交替沉积a-Si:H和a-C薄膜。本发明的碳基光子晶体背反射器，具有一维光子晶体全角反射，可实现600—1300nm光波段平均75%的反射率，增加光波在太阳能电池吸收层中的传播光程，提高光子利用效率，增加光电流密度和光电转换效率。制备工艺简单。