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适用于真空激光准直监测系统的波带板位移进给测量装置

摘要

本发明公开了一种适用于真空激光准直监测系统的波带板位移进给测量装置,包括:由滚珠丝杆副和直线导轨副组成的水平位移机构、波带板、翻转装置、游标、刻度尺、刻度滚轮、联轴器、测点箱、密封法兰、焊接法兰、驱动轴、摇柄、保护罩、密封结构等,其中摇柄能够从测点箱外部通过驱动轴与测点箱内部水平位移机构相连接,水平位移机构能够使波带板水平移动,本发明的有益之处在于:可从测点箱外部准确地给定测点箱内波带板直线位移,避免了在真空激光准直监测系统测量准确性检验的过程中测点箱反复打开与密闭、测量管道内真空与大气状态的反复切换等繁杂操作,它操作简便,给定位移精确,使真空激光准直监测系统测量准确性的检验更为便捷与可靠。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2017-12-08

    专利权的转移 IPC(主分类):G01B 5/02 登记生效日:20171117 变更前: 变更后: 变更前: 变更后: 申请日:20110524

    专利申请权、专利权的转移

  • 2015-04-22

    授权

    授权

  • 2015-04-22

    授权

    授权

  • 2013-01-30

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 5/02 申请日:20110524

    实质审查的生效

  • 2013-01-30

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 5/02 申请日:20110524

    实质审查的生效

  • 2012-12-12

    公开

    公开

  • 2012-12-12

    公开

    公开

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