仿直翅目鸣虫翅膜超微结构的声学传感器设计方法

摘要

本发明属传感器设计，特别涉及声学传感器的设计方法。为了克服现有声学传感器复杂、不利于传感器小型化的不足，提出一种仿直翅目鸣虫翅膜的声学传感器设计方案，该方案通过对声学传感器敏感元件表面细微结构的设计确定Q值，使传感器的部分结构成为冗余。既可以提高传感器Q值，增加传感器灵敏度，又可以降低Q值，加宽传感器相应带宽.特别是对于宽带传感器，可以去除声学传感器现有的阻尼结构，大大缩小声学传感器的体积。