应用阳极氧化铝膜的快速响应的相对湿度传感器

摘要

本发明公开了一种基于纳米结构氧化铝薄膜的快速响应的相对湿度传感器。该传感器的主体是在铝基底上形成的厚度大约为2-20μm的阳极氧化铝薄膜，该铝基底用作一个电极，而在阳极氧化铝薄膜上形成的大约为20-200nm厚的多孔金属层用作第二个电极。该氧化铝薄膜包括直径大约为10-100nm的纳米级通道，用以形成灵敏度高和响应时间短的电容式相对湿度传感器。升高温度的热处理会改善电容与湿度曲线的线性度，提供全范围的湿度感测范围。对该湿度传感器，滞后现象和老化现象可以忽略。